เครื่องวัดความหนาและความหนาแน่นพื้นที่แบบบูรณาการ CDM
หลักการวัด
หลักการวัดความหนาแน่นของพื้นผิว
วิธีการดูดกลืนรังสีเอกซ์/เบต้า
หลักการวัดความหนา
ความสัมพันธ์และการแบ่งสามเหลี่ยมด้วยเลเซอร์
ลักษณะการทดสอบทางเทคนิคของ CDM
สถานการณ์ที่ 1: พื้นผิวอิเล็กโทรดมีช่องว่าง/วันหยุดกว้าง 2 มม. และขอบด้านหนึ่งหนากว่า (เส้นสีน้ำเงินดังแสดงด้านล่าง) เมื่อจุดรังสีมีขนาด 40 มม. ผลกระทบของรูปร่างข้อมูลต้นฉบับที่วัดได้ (เส้นสีส้มดังแสดงด้านล่าง) จะดูเล็กลงอย่างเห็นได้ชัด
สถานการณ์ที่ 2: ข้อมูลโปรไฟล์ของพื้นที่การบางแบบไดนามิก ความกว้างข้อมูล 0.1 มม.
คุณสมบัติของซอฟต์แวร์
พารามิเตอร์ทางเทคนิค
| ชื่อ | ดัชนี |
| ความเร็วในการสแกน | 0-18ม./นาที |
| ความถี่ในการสุ่มตัวอย่าง | ความหนาแน่นพื้นผิว: 200 kHz; ความหนา: 50 kHz |
| ช่วงการวัดความหนาแน่นของพื้นผิว | ความหนาแน่นพื้นผิว: 10~1000 g/m²; ความหนา: 0~3000 μm; |
| การวัดซ้ำ ความแม่นยำ | ความหนาแน่นพื้นผิว: อินทิกรัล 16 วินาที: ±2σ: ≤±ค่าจริง * 0.2‰ หรือ ±0.06g/m²; ±3σ:≤±ค่าจริง * 0.25‰ หรือ +0.08g/m²; อินทิกรัล 4s: ±2σ: ≤±ค่าจริง * 0.4‰ หรือ ±0.12g/m²; ±3σ: ≤±ค่าจริง * 0.6‰ หรือ ±0.18g/m²;ความหนา: โซน 10 มม.:±3σ: ≤±0.3μm; โซน 1 มม.: ±3σ: ≤±0.5μm; โซน 0.1 มม.: ±3σ: ≤±0.8μm; |
| ความสัมพันธ์ R2 | ความหนาแน่นพื้นผิว >99%; ความหนา >98%; |
| จุดเลเซอร์ | 25*1400ไมโครเมตร |
| ระดับการป้องกันรังสี | GB 18871-2002 มาตรฐานความปลอดภัยแห่งชาติ (ยกเว้นรังสี) |
| อายุการใช้งานของสารกัมมันตรังสี แหล่งที่มา | เบต้าเรย์: 10.7 ปี (ครึ่งชีวิต Kr85); เอ็กซ์เรย์: > 5 ปี |
| เวลาตอบสนองของการวัด | ความหนาแน่นพื้นผิว < 1ms; ความหนา < 0.1ms; |
| พลังรวม | <3 กิโลวัตต์ |
เขียนข้อความของคุณที่นี่และส่งถึงเรา
