เครื่องวัดความหนาแน่นของรังสีเอกซ์แบบซูเปอร์
หลักการวัด
เมื่อรังสีแผ่ไปยังอิเล็กโทรด รังสีจะถูกดูดซับ สะท้อน และกระจัดกระจายโดยอิเล็กโทรด ส่งผลให้ความเข้มของรังสีหลังอิเล็กโทรดที่ส่งออกไปลดน้อยลงเมื่อเทียบกับความเข้มของรังสีตกกระทบ และอัตราส่วนการลดทอนของรังสีจะเลขชี้กำลังในเชิงลบตามน้ำหนักหรือความหนาแน่นของพื้นที่ของอิเล็กโทรด
I=I_0 อี^−แลม⇒m= 1/แลลน(I_0/I)
I_0 : ความเข้มของรังสีเริ่มต้น
I : ความเข้มของรังสีหลังจากอิเล็กโทรดส่งสัญญาณ
λ : ค่าสัมประสิทธิ์การดูดกลืนของวัตถุที่วัด
m : ความหนา/ความหนาแน่นของพื้นที่ของวัตถุที่วัด

ไฮไลท์อุปกรณ์

การเปรียบเทียบการวัดระหว่างเซนเซอร์เซมิคอนดักเตอร์และเซนเซอร์เลเซอร์
● การวัดโครงร่างและคุณลักษณะโดยละเอียด: การวัดโครงร่างความหนาแน่นเชิงพื้นที่ความละเอียดเชิงพื้นที่มิลลิเมตรด้วยความเร็วสูงและความแม่นยำสูง (60 ม./นาที)
● การวัดความกว้างพิเศษ: ปรับให้เข้ากับความกว้างของการเคลือบมากกว่า 1,600 มม.
● การสแกนความเร็วสูงพิเศษ: ความเร็วในการสแกนปรับได้ 0-60 ม./นาที
● เครื่องตรวจจับรังสีเซมิคอนดักเตอร์ที่เป็นนวัตกรรมใหม่สำหรับการวัดอิเล็กโทรด: ตอบสนองเร็วกว่าโซลูชันดั้งเดิมถึง 10 เท่า
● ขับเคลื่อนด้วยมอเตอร์เชิงเส้นที่มีความเร็วสูงและความแม่นยำสูง: ความเร็วในการสแกนเพิ่มขึ้น 3-4 เท่าเมื่อเปรียบเทียบกับโซลูชันแบบดั้งเดิม
● วงจรการวัดความเร็วสูงที่พัฒนาเอง: ความถี่ในการสุ่มตัวอย่างสูงถึง 200kHZ ช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพและความแม่นยำของการเคลือบแบบวงปิด
● การคำนวณการสูญเสียความสามารถในการทำให้บาง: ความกว้างของจุดตัดสามารถเล็กได้ถึง 1 มม. สามารถวัดรายละเอียดต่างๆ ได้อย่างแม่นยำ เช่น โครงร่างของพื้นที่ทำให้บางขอบ และรอยขีดข่วนบนผิวเคลือบอิเล็กโทรด
อินเทอร์เฟซซอฟต์แวร์
จอแสดงผลที่ปรับแต่งได้ของอินเทอร์เฟซหลักของระบบการวัด
● การกำหนดพื้นที่การทำให้บางลง
● การกำหนดความจุ
● การตัดสินใจแบบขีดข่วน

พารามิเตอร์ทางเทคนิค
รายการ | พารามิเตอร์ |
การป้องกันรังสี | ปริมาณรังสี 100 มม. จากพื้นผิวอุปกรณ์น้อยกว่า 1 μsv/h |
ความเร็วในการสแกน | ปรับได้ 0-60 ม./นาที |
ความถี่ตัวอย่าง | 200 กิโลเฮิรตซ์ |
เวลาตอบสนอง | น้อยกว่า 0.1 มิลลิวินาที |
ช่วงการวัด | 10-1000 กรัม/㎡ |
ความกว้างของจุด | 1 มม.、3 มม.、6 มม. ให้เลือก |
ความแม่นยำในการวัด | อัตราส่วน P/T ≤10%อินทิกรัลใน 16 วินาที:±2σ:≤±ค่าจริง×0.2‰ หรือ ±0.06g/㎡; ±3σ:≤±ค่าจริง×0.25‰ หรือ ±0.08g/㎡;อินทิกรัลใน 4 วินาที:±2σ:≤±ค่าจริง×0.4‰ หรือ ±0.12g/㎡; ±3σ:≤±ค่าจริง× 0.6‰ หรือ ±0.18g/㎡; |